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恶劣环境下有限空间作业气体浓度检测仪系统方案
深圳市东日瀛能科技有限公司
2022.07.20
一、方案概述
所谓有限空间，是指封闭或者部分封闭，与外界相对隔离，出入口较为狭窄，作业人员不能长时间在内工作，自然通风不良，易造成有毒有害、易燃易爆物质积聚或者氧含量不足的空间。
主要特点：
1.通风不良，容易造成有毒、易ran气体的积聚和缺氧等;此特点是造成有限空间死亡事故的主要原因，有毒有害气体中又以硫化氢为常见;所以在进入有限空间前首先必须保证该空间内有足够的无害的空气。
2.对于某些有限空间，内部构造的复杂也是导致事故的原因之一。
事故特点：
1.作业人员对有限空间概念的陌生，以致于根本无法认清相应空间存在的危害性，这是有限空间事故高发生率的根本原因;
2.监护、救援人员相关知识的匮乏是导致相应事故的高死亡人数的主要原因，经常发生一人在有限空间内作业发生意外，多名救援人员的进行营救时的死亡事故;
3.适用救援设备的缺失也是导致相应作业人员高死亡率的原因。
分为四类：
1.密闭设备:如船舱、贮罐、车载槽罐、反应塔(釜)、冷藏箱、压力容器、管道、烟道、锅炉等;
2.地下有限空间:如地下管道、地下室、地下仓库、地下工程、暗沟、隧道、涵洞、地坑、废井、地窖、污水池(井)、沼气池、化粪池、下水道等;
3.地上有限空间:如储藏室、酒糟池、发酵池、垃圾站、温室、冷库、粮仓、料仓等。
4.冶金企业非标设备:高炉、转炉、电炉、矿热炉、电渣炉、中频炉、混铁炉、煤气柜、重力除尘器、电除尘器、排水器、煤气水封等。
针对有限空间中，若遇到常温、高压、潮湿、含焦油、含粉尘的监测环境，则需用到气体在线监测预处理装置
系统主要功能包括：
（1） 前置预处理装置，使恒定的样气送至气体检测仪表。
（2） 实时监测有限空间的可燃气体和有毒气体的含量，达到一定浓度时实时报警。
（3） 通过上位机系统监控中心实时观看有限空间的现场情况。
（4） 在监控中心实时记录以上各监测数据，对数据统一集中管理。
（5） 并能通过声光报警、LED屏幕显示等多种方式发出报警信息，及时告知维护管理责任人
（6） 气体浓度达到对应设置的报警值时联动泵/阀/风机等设备。
二、执行标准
GB3836.1-2010《爆炸性气体环境用电气设备 第一部分：通用要求》
GB3836.2-2010《爆炸性气体环境用电气设备 第二部分：隔爆型“d” 》
GB 3836.15-2000 《爆炸性气体环境用电气设备第 15 部分：危险场所电气安装( 煤矿除外) 》
GBT50493-2019 《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》
GB12358-2006 《作业场所环境气体检测报警仪通用技术要求》
GBZ/T 223-2009《工作场所有毒气体检测报警装置设置规范》
GBZ 2.1-2007 《工作场所有害因素职业接触限值》
GB 4208-2008 《外壳防护等级（IP 代码）》
三、方案介绍与设计
3.1 检测点的定位
首先通过对有限空间的细致分析，初步确定设置气体探测器的最佳位置或必要设置点。（一台气体浓度检测仪能以7.5米为半径检测周围的气体浓度。）从而保证易燃易爆与有毒有害气体充分扩散到检测器附近，使险情及时被探知。
3.2 气体探头的选择
对于任何进入受限空间作业的人员，了解氧气和可燃气体的含量非常重要，但受限空间需要了解的气体含量并不只有这两种，一氧化碳、硫化氢、氨气等有毒气体有需要检测。针对有限空间常见实际环境与自然条件，选用催化燃烧/电化学/红外NDIR/热导/PID光离子等原理的多合一气体探测器。
四、产品参数：
气体在线监测预处理系统（简易款）
| 型 号 | SK-7500-GAS-JY |
| 产品名称 | 气体在线监测预处理系统、VOC在线监测系统、厂界VOC在线监测系统、空气质量监测系统、微型空间站、大气网格化空气质量监测系统等 |
| 类 型 | 工业级实时在线监测型 |
| 显示方式 | 气体检测仪LCD液晶显示、可选配7寸触摸彩屏显示 |
| 工作方式 | 固定式连续在线工作，泵吸式检测（正压、负压、真空等环境） |
| 外壳材质 | 不锈钢材质，可定制防爆款 |
| 输出信号 | ①4-20mA信号：标准的12位精度4-20mA输出芯片，传输距离1Km； ②RS485信号：采用标准MODBUS RTU协议，传输距离1Km； ③电压信号：0.4-2V,0-5V、0-10V输出，选配（电压输出与电流输出二选一）； ④开关量信号：标配1组无源触点继电器，容量220VAC 3A/24VDC 3A； ⑤无线传输：DTU、LORA等无线模块（选配）。 |
| 检测介质 | NO、NO2、NOX、O2、CO、CO2、HCL、HNO3、酸雾、氟化物、恶臭气体、VOC有机挥发物、苯系物等气体 |
| 检测原理 | 催化燃烧、电化学、热导、红外NDIR、PID光离子 |
| 检测范围 | 0-10/20/50/100/500/1000mg/m³、ppm（根据技术原理而定） |
| 分 辨 率 | 0.01/0.1/1mg/m³、ppm（根据量程而定） |
| 检测误差 | ≤±3%F.S（全量程内≤3%）更高精度可订制 |
| 重 复 性 | ≤±1% |
| 线性误差 | ≤±1% |
| 响应时间（T90） | T90≤30S（不同气体响应时间不同，可参考常用气体选型表） |
| 工作电压 | DC24V（12V～30V） |
| 工作温度 | -20℃~50℃ 特殊要求：（-40℃～+70℃） |
| 工作湿度 | 10-95%RH（无冷凝） |
| 工作压力 | 91～111Kpa（大气101kpa±10%）（根据传感器与使用环境而定） |
| 传感器寿命 | 2～6年（根据传感器原理与使用的环境而定） |
| 采样湿度 | 0～99%RH |
| 工作电压 | 220VAC，50HZ，200瓦 |
| 防护级别 | IP65 防水型（可选户外使用） |
| 安装方式 | 壁挂式，地角安装，可选配立柱式安装支架 |
| 选配附件 | （温控器、加热器）系统加热：在极寒地区防止管路出现冰冻、防爆外箱、温湿度测量、减压阀（可选配油水分离）、高粉尘反吹装置、文丘里、散热分风扇； 电脑监控配件：免费上位机软件、USB 转 RS485 转换连接线，如果要网络传输还需 RS485 转网口转换器。 |
气体在线监测预处理系统
| 型 号 | SK-7500-GAS-Y |
| 产品名称 | 烟气在线监测系统、废气在线监测系统、高温预处理在线监测系统、样气处理在线监测系统、污染源VOC在线监测系统、厂界VOC在线监测系统、氮氧化物在线监测系统、恶臭在线监测系统、高温硫酸雾在线监测系统、碳排放在线监测系统、空气质量监测系统、微型空间站、大气网格化空气质量监测系统 |
| 类 型 | 工业级实时在线监测型 |
| 显示方式 | 7寸触摸彩屏显示 |
| 工作方式 | 固定式连续在线工作，泵吸式检测（正压、负压、真空等环境） |
| 外壳材质 | 碳钢。可定制防爆与不锈钢材质 |
| 输出信号 | ①4-20mA信号：标准的12位精度4-20mA输出芯片，传输距离1Km； ②RS485信号：采用标准MODBUS RTU协议，传输距离1Km； ③电压信号：0.4-2V,0-5V、0-10V输出，选配（电压输出与电流输出二选一）； ④开关量信号：标配1组无源触点继电器，容量220VAC 3A/24VDC 3A； ⑤无线传输：DTU、LORA等无线模块。 |
| 检测介质 | NO、NO2、NOX、O2、CO、CO2、HCL、HNO3、酸雾、氟化物、恶臭气体、VOC有机挥发物、苯系物等气体 |
| 检测原理 | 催化燃烧、电化学、热导、红外NDIR、PID光离子、光学 |
| 检测范围 | 0-10/20/50/100/500/1000mg/m³、ppm（根据技术原理而定） |
| 分 辨 率 | 0.01/0.1/1mg/m³、ppm（根据量程而定） |
| 检测误差 | ≤±3%F.S（全量程内≤3%）更高精度可订制 |
| 重 复 性 | ≤±1% |
| 线性误差 | ≤±1% |
| 响应时间（T90） | T90≤30S（不同气体响应时间不同，可参考常用气体选型表） |
| 工作电压 | DC24V（12V～30V） |
| 工作温度 | -20℃~50℃ 特殊要求：（-40℃～+70℃） |
| 工作湿度 | 10-95%RH（无冷凝） |
| 工作压力 | 91～111Kpa（大气101kpa±10%）（根据传感器与使用环境而定） |
| 传感器寿命 | 2～6年（根据传感器原理与使用的环境而定） |
| 采样温度 | -40℃～+200℃（标准），选配：-40℃～+400℃、-40℃～+800℃、-40℃～ +1300℃ |
| 采样湿度 | 0～99%RH |
| 恒定温度 | 25℃ 气体处理后的温度，可设定 |
| 恒定湿度 | 70%RH，气体处理后的湿度，自动 |
| 自动排水 | 可根据现场的水汽大小自动排水 |
| 采样距离 | 标准20米，选配大功率真空泵的采样距离大于40米，如果被测气体的压力比较大，采样距离相应大一些 |
| 采样流量 | 4升/分钟（标准） |
| 工作电压 | 220VAC，50HZ，200瓦 |
| 外形尺寸 | 有脚：760*500*270mm；无脚：700*500*270（见外观尺寸图） |
| 防护级别 | IP65 防水型（可选户外使用） |
| 安装方式 | 壁挂式，地角安装，可选配立柱式安装支架 |
| 选配附件 | （温控器、加热器）系统加热：在极寒地区防止管路出现冰冻、防爆外箱、温湿度测量、减压阀（可选配油水分离）、高粉尘反吹装置、文丘里、散热分风扇； 电脑监控配件：免费上位机软件、USB 转 RS485 转换连接线，如果要网络传输还需 RS485 转网口转换器。 |
| 型 号 | SK-6500-NY | ||
| 显示内容 | 气体名称、量程单位、实测值、时间、报警状态、历史数据等 | ||
| 测量单位 | ppm、ppb、%LEL、%VOL、mg/m3、mg/L、g/m3、ug/m3、%rh、℃、MPa、KPa、Pa等 | ||
| 输入电源 | AC220V | 功 耗 | 小于 7W |
| 输出电源 | DC24V/2A | 安装模式 | 壁挂式 |
| 响应时间 | ≤30S | 报警设定 | 4 种模式自由设定 |
| 接收信号 | 4-20MA、RS485（标准 ModbusRTU 协议） | 报警模式 | 蜂鸣器报警 |
| 工作温度 | -20～50℃ | 工作湿度 | 0～95%RH 无凝露 |
| 存 储 （选配） | U盘存储历史数据：格式为CSV，单个文件可存储100万条记录，存满单个文件后自动新建下一个文件； U盘存储报警记录：格式为CSV，单个文件可存储100万条记录，存满单个文件后自动新建下一个文件。 | ||
| 输出触点 | 默认4个常开触点，触点容量30V/3A或250V/3A，继电器模块可扩展输出触点可交叉配置 | ||
| 尺 寸 | 330*270*115mm（长*宽*高），采用向左开门结构。 | ||
便携式多合一气体检测仪
| 型 号 | SK/MIC-800-NY | ||
| 类 型 | 便携式、手持式、泵吸式 | ||
| 显示内容 | 气体名称、量程单位、实测值、时间、电池剩余量、气泵、声音、报警状态、浓度曲线图等 | ||
| 采样方式 | 主动吸入+270mm采样管 | ||
| 检测气体 | 可搭配任意1～6种可燃、有毒有害气体，可参考4页气体选型表 | ||
| 检测原理 | 催化燃烧/电化学/热导/红外NDIR/PID光离子（进口） | ||
| 检测范围 | 可定制 | ||
| 分 辨 率 | 参考气体选型表 | ||
| 检测误差 | ≤±3%F.S 更高精度可订制 | ||
| 重 复 性 | ≤±1% | ||
| 线性误差 | ≤±1% | ||
| 工作环境 | 温度：-20℃～50℃；湿度：10-95%RH，(无冷凝) | ||
| 工作压力 | 91～111Kpa（大气101kpa±10%）（根据传感器与使用环境而定） | ||
| 响应时间 | ≤30S（不同气体响应时间不同，可参考常用气体选型表） | 使用寿命 | 2～8年（根据传感器、使用的情况与使用环境而定） |
| 语言界面 | 中文简体/英文 | 按 键 | 8个 |
| 工作电流 | ≤50mA | 充电方式 | Micro USB 充电器 |
| 报警方式 | 声、光提示 | 电池容量 | 5400mA锂电池 |
| 输出信号 | USB数据采集，30万组信息存储 | 外壳材质 | 防腐蚀塑料，铝合金 |
| 显示屏 | 3.5寸高清彩屏，仿真菜单图标 | 防护等级 | IP65 |
| 附件 | 检测仪、包装箱（340*220*130mm约2.0kg）、说明书、合格证、充电器、数据线、出货单各一份 | ||
五、外形尺寸：
（气体在线监测预处理系统-简易款）
（气体在线监测预处理系统）
（便携式多合一气体检测仪）
（主机报警控制器）
六、直视单元面板：
（固定式单一显示界面）
（固定式四合一显示界面）
（便携式气体显示界面）
（气体在线监测预处理系统显示界面）
七、内部结构:
（简易款内部结构）
（标准款内部结构）
八、电气接线定义图：
东日瀛能可燃气体检测报警器量程参照法规：
关于有毒有害气体接触限值与其浓度多少时对人体的危害等相关问题，请咨询东日瀛能销售人员。
常用气体选型表
| 检测气体 | 量程 | 允许 误差值 | 最小读数 | 响应时间T90 |
| 可 燃气(E X) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 可 燃气(E X) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
| 甲 烷(C H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 甲 烷(C H4) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
| 氧 气(O 2) | 0-30%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 氧 气(O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 氧 气(O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氮 气(N 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-100000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-50000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-20%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-5ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
| 臭 氧水(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
| 硫化 氢(H 2S) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氢(H 2S) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氢(H 2S) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氢(H 2S) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氢(H 2S) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氯 气(CL 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氯 气(CL 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯 气(CL 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氯 气(CL 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氨 气(N H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氨 气(N H3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氨 气(N H3) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氨 气(N H3) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氨 气(N H3) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 氢 气(H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 氢 气(H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氢 气(H 2) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氢 气(H 2) | 0-40000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氢 气(H 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氦 气(H e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氩 气(A r) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氙 气(X e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氰化 氢(H CN) | 0-30ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氰化 氢(H CN) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯化 氢(H CL) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯化 氢(H CL) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氢(P H3) | 0-5 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氢(P H3) | 0-25 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氢(P H3) | 0-2000 ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 环氧 乙烷(ET O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 环氧 乙烷(ET O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 环氧 乙烷(ET O) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 1%LEL | ≤30秒 |
| 光 气(C OCL 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 光 气(C OCL 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 硅 烷(Si H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 硅 烷(Si H4) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟 气(F 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氟 气(F 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟 气(F 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟化 氢(H F) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟化 氢(H F) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 溴化 氢(HB r) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| （B2 H6) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氢(As H3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氢(As H3) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氢(As H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 锗 烷(Ge H4) | 0-2ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 锗 烷(Ge H4) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 联 氨(N 2 H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 联 氨(N 2 H4) | 0-300ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 四氢 噻吩(TH T) | 0-100mg/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.01 mg/m3 | ≤60秒 |
| 溴 气(B r2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 溴 气(B r2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 溴 气(B r2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 乙 醛（C2 H4O） | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 醇(C2 H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 醇(C2 H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 甲 醇(C H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醇(C H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二硫 化碳(C S2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二硫 化碳(C S2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 丙烯 腈(C3 H3N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 丙烯 腈(C3 H3N) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 甲 胺(C H5N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 典 气(I 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 苯乙 烯(C8 H8) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 苯乙 烯(C8 H8) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氯乙 烯(C2H3 CL) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 三氯 乙烯(C2H CL3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 四氯 乙烯(C2 CL4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 笑 气(N 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 三氟 化氮(N F3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 过氧 化氢(H 2O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-200g/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.1g/m3 | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
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